1、 半导体电子洁净车间装修建筑装饰工程必须与各专业工种间制定严格的施工程序，一般依次为： 留洞打底， 各专业安装， 内门窗安装， 修补洞口及周边， 基层打底， 饰面抹灰和罩面板工程， 嵌缝处理， 油漆刷浆工程和裱糊工程。
2、 应保护已完成的装饰工程表面， 不得因撞击、 敲打、 踩踏， 多水作业等造成板材凹陷， 暗裂和表面装饰的污染。
3、 对已安装高效过滤器的房间， 不得进行有粉尘的作业。
4、 塑料板材和卷材面层铺贴前应预先按规格大小， 厚薄分类， 板材或卷材与地面之间应满涂粘接剂， 表面赶平， 不得漏涂或残存空气。
5、在半导体电子洁净车间装修建筑装饰施工过程中， 必须随时清扫灰尘， 对隐蔽空间(如吊顶和夹墙内部等) ， 还应做好清扫记录。
6、 密封胶嵌固前， 应将基槽内的杂质， 油污剔除干净， 并保持表面干燥。
7、 半导体电子洁净车间临时设置的设备入口不用时应封闭， 防止尘土杂物进入。
8、 洁净厂房施工现场应保证良好的通风和照明， 对于改建工程， 应查明和切断原有电源及易燃，易爆和有毒气体管线后方可施工， 对工艺生产过程中使用的腐蚀性液体应有安全防护措施。