氦气
氦气纯度
工业氦
项目名称指标
氦气纯度:≥99%
氖(氢)、氧(氩)、氮、甲烷总含量,%≤1
水分含量,露点,≤-43℃
纯氦
项目名称指标
优等品一等品合格品
氦气纯度,%≥99.99599.99399.99
氖含量,ppm≤152540
氢含量,ppm≤357
氧(氩)含量,ppm≤355
氮含量,ppm≤101725
一氧化碳,ppm≤111
二氧化碳,ppm≤111
甲烷量,ppm≤111
水分含量,ppm≤101520
高纯氦气
氦气纯度>99.999%,
杂质含量(ppm):
O2≤0.5,
N2≤1.0,
CO≤0.5,
CO2≤0.5,
CH4≤0.5,
H2O≤0.5,
Ne≤8.0;
超纯氦气
氦气纯度>99.9999%,
杂质含量(ppm):
N2≤0.5,
O2≤0.5,
Ne≤0.5,
CO≤0.1,
CO2≤0.1,
THC≤0.1,
H2O≤0.2;